報(bào)告題目：X 光成像在芯片先進(jìn)納米制程中的應(yīng)用

報(bào)告時(shí)間：2021年11月19日（周五）　下午3:30-5:30

報(bào)告地點(diǎn)：建筑工程學(xué)院8#202

報(bào)告人：徐欣彤

報(bào)告人單位：美國(guó)諾信高精密器材公司

報(bào)告人簡(jiǎn)介：

徐欣彤，男，博士，博士畢業(yè)于英國(guó)卡迪夫大學(xué)?，F(xiàn)就職于美國(guó)諾信公司擔(dān)任產(chǎn)品技術(shù)主管，負(fù)責(zé)自動(dòng)化高精密儀器研發(fā)與客戶技術(shù)支持。曾與多家國(guó)際半導(dǎo)體公司協(xié)作提供晶圓制造與測(cè)量的解決方案，并曾擔(dān)任希捷硬盤高級(jí)產(chǎn)品整合工程師

報(bào)告摘要：納米制程是芯片及各種先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備制造的基礎(chǔ)，也是我國(guó)重點(diǎn)攻堅(jiān)的“卡脖子”科技難題。納米制程的核心技術(shù)之一就是高精密測(cè)量?jī)x器的發(fā)展與應(yīng)用。本次報(bào)告從X 光測(cè)量?jī)x器為切入點(diǎn)闡述現(xiàn)階段先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所面對(duì)的挑戰(zhàn)與機(jī)遇。

邀請(qǐng)單位：黃淮學(xué)院建筑工程學(xué)院